为进一步揭示槽型空心阴极放电的放电机理,利用流体-亚稳态原子传输模型模拟研究了槽型空心阴极放电等离子体参数的时空分布特性。模拟得到了不同时刻槽型空心阴极放电中电势、电子密度、电场场强和电离速率等的分布特性。结果表明槽型空心阴极放电在不同时刻处于不同的放电模式,即初始放电阶段为Townsend放电模式,此阶段以轴向放电为主;第2阶段为放电由槽外向槽内发展阶段,此阶段电场场强由轴向向径向转换;第3阶段为形成空心阴极效应放电模式阶段,此阶段逐渐形成稳定的阴极鞘层结构;第4阶段为稳定放电阶段,放电参数不随时间发生变化放电特性的模拟-电动折弯机数控滚圆机滚弧机张家港电动液压滚圆机滚弧机。研究结果为进一步分析空心阴极放电的时间发展特性提供了参考。 电子和离子的粒子流密度为jjjjjJ=αμnEDn(3)式中：E为电场强度；μj和Dj分别为电子和离子的迁移系数和扩散系数；对于电子α=1，对于离子α=1。本文由公司网站滚圆机网站采集转载中国知网资源整理!www.gunyuanji.name电子能量连续性方程为eeWeWnWJSt+=(4)式中：We为电子平均能量；neWe为电子平均能量密度；JWe电子平均能量流密度；SW为电子平均能量源项。电子平均能量流密度为WnW(5)模拟中涉及的反应参数见文献[14-16]，边界条件见文献[17]。1.2放电结构图1为空心阴极放电结构示意图，放电特性的模拟-电动折弯机数控滚圆机滚弧机张家港电动液压滚圆机滚弧机建立如图所示xy直角坐标系。槽型电极作为阴极接地，阳极为金属平板。其中槽型深度为1cm，宽为1cm。槽口距离阳极1cm。阴极和阳极材料假设为铜。模拟的气体环境为纯Ar，气压I出现迅速上升，此阶段I曲线具有较高的正斜率，为放电的第2个阶段。当t=20μs左右时，I变缓，并逐渐过渡到稳定放电阶段。根据I变化趋势，结合φ、nj等的分布特性，本文分4个阶段对每个阶段的放电特性进行介绍。2.1第1阶段(Townsend放电模式)第1阶段t=3μs的放电特性如图3所示。由图3(a)，在放电的初始阶段,从阴极到阳极电势逐渐增高，具有较强的轴向电场，径向E很弱。此时ne峰值位于阳极附近为1.5×109cm3，其他放电区域ne很低。这主要是由于此时放电主要发生在靠近阳极区域，而在靠近阴极区域Se放电特性的模拟-电动折弯机数控滚圆机滚弧机张家港电动液压滚圆机滚弧机本文由公司网站滚圆机网站采集转载中国知网资源整理!www.gunyuanji.name